半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中，氬氣、氦氣這類特種惰性氣體被大量用作工藝載氣與保護氣。氣體內(nèi)部攜帶的微量水汽，即便含量很低，也會在蝕刻、薄膜沉積等工序里對晶圓產(chǎn)生負(fù)面影響，容易引發(fā)表面氧化、薄膜針孔等各類工藝缺陷，影響產(chǎn)品生產(chǎn)過程。因此，定期對供氣管路、氣瓶出口、機臺進氣端開展氣體濕度檢測，是半導(dǎo)體工廠品質(zhì)管控環(huán)節(jié)里不可que少的一環(huán)，英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 可以完成這類特種惰性氣體的現(xiàn)場取樣檢測工作。

半導(dǎo)體車間內(nèi)部檢測點位分布零散，涵蓋氣體分配柜、氣瓶接口、設(shè)備進氣口等多處位置，需要人員移動完成多點抽檢。英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 整機重量 1.75kg，機身輕便，方便工作人員攜帶流轉(zhuǎn)于各個測點。英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 擁有 IP66 防護等級，可以應(yīng)對車間機房、特氣間復(fù)雜的現(xiàn)場工況。英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 內(nèi)置充電鋰電池，可實現(xiàn) 150 小時連續(xù)工作，長時間巡檢作業(yè)無需頻繁充電。英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 配置彩色 LCD 顯示屏，支持中文界面，可靈活切換露點溫度、ppm (v) 等多種計量單位，現(xiàn)場直接讀取氬氣、氦氣的濕度數(shù)據(jù)。

英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 配置 AutoCal 自動校準(zhǔn)功能，工作人員可直接在生產(chǎn)現(xiàn)場完成儀表校驗，不用送回實驗室處理，簡化儀表維護流程。英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 支持大容量數(shù)據(jù)存儲，能夠保存大量測點記錄，借助 USB、藍(lán)牙接口，可將檢測數(shù)據(jù)導(dǎo)出至電腦做歸檔留存，方便工藝人員跟蹤管路氣體濕度的變化趨勢。依靠英國 SHAW 進口便攜式露點儀 SDHmini 開展周期性抽檢，能夠及時發(fā)現(xiàn)管路密封泄漏、純化裝置性能衰減等異常情況，減少水汽給晶圓帶來的工藝缺陷，維護半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定運行