在半導(dǎo)體與電子制造領(lǐng)域，超高純氣體（如氮?dú)狻鍤獾龋┦切酒圃熘胁豢蒱uo缺的工藝介質(zhì)。從晶圓清洗、薄膜沉積到光刻刻蝕，每一道工序都對氣體中的水分含量有著近乎苛刻的要求——哪怕是ppm級的微量水分，也可能導(dǎo)致芯片氧化、薄膜缺陷甚至整批晶圓報(bào)廢。因此，在氣體供給管路的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)進(jìn)行露點(diǎn)快速抽檢，是保障良品率的重要手段。英國肖氏（SHAW）Model SADP-D便攜式露點(diǎn)儀，憑借其快速響應(yīng)、精準(zhǔn)測量和本質(zhì)安全等特性，成為半導(dǎo)體現(xiàn)場氣體干燥度管控的得力工具。

微量水分也能捕捉：精度滿足超純氣體檢測需求

半導(dǎo)體工藝用氣的露點(diǎn)通常要求控制在極低水平。SADP-D提供銀（S）傳感器，測量范圍覆蓋-100°C至-20°C露點(diǎn)，對應(yīng)0至1000 ppm(v)水汽含量，分辨率達(dá)0.1 ppm(v)。其精度為±3°C至±4°C，重復(fù)性優(yōu)于±0.5°C，并隨附國家物理實(shí)驗(yàn)室（NPL）可追溯的校準(zhǔn)證書，數(shù)據(jù)可靠、可追溯，能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)對微量水分檢測的嚴(yán)格要求。

干燥劑頭技術(shù)：即測即用，不耽誤產(chǎn)線節(jié)拍

半導(dǎo)體工廠的產(chǎn)線停機(jī)成本ji高，檢測儀表必須快速出數(shù)。SADP-D采用獨(dú)特的干燥劑干燥室設(shè)計(jì)，傳感器在兩次測試之間始終與大氣隔絕，保持干燥狀態(tài)。接入氣體管路取樣口后，干燥頭先對傳感器周圍進(jìn)行凈化除濕，隨后氣體接觸傳感器即可讀數(shù)。預(yù)熱時間僅需5秒，干燥至潮濕的反應(yīng)時間小于20秒，操作人員可以在短短幾秒內(nèi)完成一次露點(diǎn)抽檢，不影響產(chǎn)線正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

本質(zhì)安全認(rèn)證：潔凈車間與危險(xiǎn)區(qū)域均可使用

半導(dǎo)體工廠中常使用易燃易爆的特種氣體，對檢測設(shè)備的安全性有較高要求。SADP-D通過ATEX II 1 G Ex ia IIC T6 Ga及IECEx Ex ia IIC T6 Ga本質(zhì)安全認(rèn)證，無需附加配件即可在危險(xiǎn)區(qū)域直接使用，防護(hù)等級達(dá)IP66/NEMA 4X。這意味著無論是在普通潔凈車間還是在特種氣體區(qū)域，SADP-D都能安全可靠地工作。

自動校準(zhǔn)+超長續(xù)航：降低運(yùn)維負(fù)擔(dān)

SADP-D內(nèi)置自動校準(zhǔn)功能，現(xiàn)場只需將傳感器暴露在比測量范圍更潮濕的大氣中，通過正面電位器即可完成校準(zhǔn)，無需送回實(shí)驗(yàn)室或請專業(yè)人員到場。6節(jié)C型電池支持超過150小時連續(xù)運(yùn)行，大幅減少了頻繁更換電池和送檢校準(zhǔn)的運(yùn)維成本。

一臺SADP-D，一根兩米PTFE取樣軟管，一個重型皮革便攜箱——英國肖氏用數(shù)十年的露點(diǎn)測量經(jīng)驗(yàn)，為半導(dǎo)體與電子制造行業(yè)的超純氣體干燥度管理，提供了一種簡單、可靠、可追溯的現(xiàn)場解決方案